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| 刘学峰 |
千人计划特聘专家,南京理工大学电子工程与光电技术学院教授,博士生导师。同时任职紫金特聘教授、IEEE会员、OE杂志副主编、移动互联网杂志编委。 曾组织参与世界光通信器件公司Bookham核心项目研发、集成电路光刻机厂家ASML光学成像部世界前沿机型研发。近年注重参与重大专项、组织973和基金重大仪器专项申请等并已获得江苏省双创团队项目。国内外多年研发中共设计制作了15个大型光学测量和波前控制系统,拥有大量知识产权其中包括15项。同时在光刻工程、光通信器件、光波前控制器件与系统、纳米和亚纳米级光波前偏差、物质结构和形貌检测等方面发表文章50多篇。 研究方向:光栅掩模设计、电子束刻与光刻工艺等领域 |
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